氩气是一种惰性气体，电离后造成的离子体不容易与基材产生化学变化，在等离子清洗中主要被运用于基材表层的物理清理及表层钝化处理，其特性是在表层清理中不容易造成高精密电子元器件的表层氧化。氩气在真空等离子清洗机中被电离所造成的等离子技术呈深红色。在同样的充放电环境下，氢气和氮气所造成的等离子技术色调都是呈鲜红色，但氩等离子技术的色度会小于氮气且高过氢气。
 

 

①表层清理

在晶圆、玻璃等商品的表层去除的加工工艺中，一般 都是选用Ar等离子技术对表层颗粒进行轰击，以做到颗粒被打散、松脱（与基材表层摆脱）的实际效果，再搭配超声清洗或离心清理等加工工艺，将表层颗粒进行去除。
 

②表层钝化处理

等离子清洗机的表层钝化处理又被称为表层离子注入，其目地是提高原材料表层的表面粗糙度，以提升粘合、包装印刷、电焊焊接等加工工艺结合性，经氩等离子清洗机处理后的界面张力会显著提高。活性气体所造成的等离子技术还可以提升表层的表面粗糙度，但氩气电离后造成的颗粒相对性较重，氩离子在静电场的功效下的动能会显著高过活性气体，因此 其钝化处理实际效果会更为显著。
 

③活性气体辅助

在等离子清洗机的活性和清理加工工艺中，加工工艺气体常常被混合应用，以做到更优的实际效果。由于氩气的分子结构较为大，在进行表层清理和活性时一般 会搭配活性气体混合应用。普遍的便是氩气和氧气的混合。氧气为高活性气体，可合理地对有机空气污染物或有机基材表层进行有机化学溶解，但其颗粒相对性较小，断键和轰击能力有限，如再加一定占比的氩气，那麼所造成的等离子技术对有机空气污染物或有机基材表层的断键和溶解工作能力便会更强，加速清理和活性的高效率。